高纯气体中微量杂质CO、CH4、CO2分析

进样方式：阀进样

检测器：转化炉+FID

出峰顺序：1、CO一氧化碳；2、CH4甲烷； 3、CO2二氧化碳；

适用性：适用于高纯气体中ppm以下的微量杂质分析，检测限浓度优于0.03ppm；